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半導体装置用PPS部品に求められる「切削精度と再現性」

2023.10.17

― 試作から装置組み込みまでを見据えて ―

半導体装置向け部品では、「作れるかどうか」よりも「安定して使えるかどうか」が
重要視されます。

装置内部に組み込まれる部品は、わずかな寸法誤差や反り、歪みが装置性能や
歩留まりに影響を与えるため、加工精度と再現性が不可欠です。

PPS(GF-40)は、熱変形が少なく寸法安定性に優れた材料ですが、ガラスフィラーに
よる方向性が発生しやすく、切削条件を誤ると精度不良や表面荒れを招きます。

(株)アリスでは、材料特性を踏まえた加工プロセス設計を行い、単なる「削る加工」
ではなく、機能部品として成立させるための切削加工を実践しています。

半導体装置開発では、まず切削加工で試作し、装置に組み込んで評価を行うケースが
多く見られます。

その際、評価後に寸法変更や形状修正が発生することは珍しくありません。

(株)アリスでは、CAD/CAMを活用し、こうした変更にも迅速に対応できる体制を
整えています。

さらに、試作段階で得られた知見を、試作金型・簡易金型による射出成形へと展開
することも可能です。

切削加工と成形を分断せず、開発から量産を見据えた一貫した技術提案ができる点も、
(株)アリスの強みです。

半導体装置の性能を支えるのは、目立たない一つひとつの部品です。

その品質を安定して実現するために、(株)アリスはエンジニアリング視点でPPS
切削加工に取り組んでいます。

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